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氣體捕集真空泵

推薦集成電路制造中低溫泵的應(yīng)用及產(chǎn)品發(fā)展現(xiàn)狀

本文介紹了國內(nèi)集成電路制造中進(jìn)口低溫泵產(chǎn)品的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀，并對(duì)比了不同產(chǎn)品的技術(shù)特點(diǎn)。闡述了國產(chǎn)低溫泵進(jìn)軍集成電路制造業(yè)的歷程與現(xiàn)狀。

氦氣壓縮機(jī)的泄漏對(duì)低溫泵抽氣性能的影響

氦氣壓縮機(jī)潤滑油的泄漏和氦氣壓縮機(jī)的氦氣泄漏會(huì)導(dǎo)致低溫泵氦氣的壓力持續(xù)降低, 最終會(huì)影響低溫泵的抽氣性能。
吸附捕集器(吸附阱)的技術(shù)特點(diǎn)

吸附捕集器(吸附阱)是利用某些物質(zhì)具有吸附性能（物理吸附和化學(xué)吸附）的原理來捕集可凝性蒸汽的一種捕集器。常用的吸附劑有：分子篩（沸石），活性碳，硅膠，Al2O3，P2O5等。本文給出了常見的吸附阱的結(jié)構(gòu)原理圖。
冷凝捕集器(冷阱)的抽速計(jì)算公式

冷凝捕集器(冷阱)對(duì)蒸氣分子的抽速類似于低溫泵的抽速，是指在捕集器中的蒸氣壓強(qiáng)下，單位時(shí)間內(nèi)凝結(jié)在冷卻壁上的蒸氣體積。本文介紹了冷阱的抽速計(jì)算方法與公式。
冷凝捕集器(冷阱)的作用和典型結(jié)構(gòu)

冷阱是利用低溫冷壁來捕集可凝性蒸氣的一種低溫冷凝捕集器，冷阱的結(jié)構(gòu)型式很多，就材質(zhì)而言，有金屬冷阱和玻璃冷阱兩類。
機(jī)械捕集器的設(shè)計(jì)原則及其典型結(jié)構(gòu)

機(jī)械捕集器阻擋住直線運(yùn)動(dòng)的蒸氣分子穿越，使其在壁板上凝結(jié)或反射回去，用這種機(jī)械阻擋的方法消除或減少蒸氣分子進(jìn)入被抽容器，靠機(jī)械阻擋的方法來降低油蒸氣的返油率。
擋油帽的作用與主要參數(shù)計(jì)算

擋油帽一般設(shè)置在擴(kuò)散泵泵芯的一級(jí)噴咀上面，這樣可以大大降低油蒸氣的返流。但擋油帽降低了返油率，同時(shí)也降低了泵的抽速。因此擋油帽的設(shè)計(jì)就相當(dāng)重要。